Baoguo Lv 吕保国
GM, GRIKIN
有研亿金有限公司总经理

讲师简介 / Speaker Bio

有研亿金公司总经理吕保国，长期从事集成电路用靶材、贵金属功能材料、汽车化工催化剂用铂族金属的研究、产品开发、成果转化、生产管理，在该领域取得丰硕成果，做出突出贡献。主持和作为骨干承担了10余项国家科研项目，包括国家02重大专项、863重点项目、发改委高技术产业化项目、工信部强基工程项目等，全面实现技术和产业化突破。主持研发集成电路用靶材产品、贵金属功能材料，并参与建成国内第一条具有自主知识产权的从原材料纯化到靶材制造的垂直一体化生产线，打破国外技术垄断，产品批量销售至国内外高端集成电路客户。发表论文20余篇，申请国家专利20余项。获国防科学技术奖三等奖、北京市科学技术二等奖，中国有色金属工业科学技术奖一等奖等。

摘要 / Abstract

面向我国集成电路先进制程以及先进存储的应用需求，介绍我国集成电路用高纯铜及铜合金、高纯钽、高纯钴、高纯镍铂、高纯钨、氧化铝等靶材的发展现状。同时凝练我国高端靶材制备关键技术及工程化方面存在问题，着眼领域未来发展，提出集成电路用高纯金属溅射靶材产业的重点发展方向及建议。